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LED激光剥离机

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乙酰乙酸自己的特色 首要特色：
1、长焦深，可处置电影翘区题目 ;
2、高精度高速加工体系;
3、全主动高低料 ;
4、低毁伤、高良品率;
5、工艺参数可及时调理、可存储.

产物利用

合理利用产值：SI、铝合金等柔性板的平片及DPSS晶圆片。

产物参数


首要参数加工尺寸4/6寸晶圆片
加工速率2400~3200mm/s
加工精度±1.5μm
平台参数400*600mm
激光器参数200KHz
Tact time4寸片单片加工时候为140S（不包罗高低料时候）
稼动率98%
严重毛病空隙时候2H≥
良率95%
振镜及节制体系最大速率： 5000mm/s
精度：±10μm
加工体例螺旋式由外往内
圆形直线添补体例
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