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LED步进式光刻机

LED步进式光刻机

代谢物少数民族特色 合用于4-6英寸基底LED硅芯片/蓝宝石芯片出产中的光刻工艺,接纳超大暴光视场,大大削减暴光次数,明显进步产能;同时该装备具备高分辩率、高线宽平均性等特色。 

产物利用

使用范围:LED晶圆。

产物参数

首要参数加工尺寸4”、6“晶圆
加工速率4", 137pcs/h
6", 110pcs/h
加工精度分辩率2μm L/S
平台参数定位精度
X: ±200nm
Y: ±200nm
Z: ±350nm
Rx Ry Rz:10urad
激光器参数光源:2000W UV Lamp,波长365nm
感光地区:53*38.5mm
任务照度:>550mW/cm2(New lamp)
光源平均度:≤3%
Tact time4”:43.1秒(第一片),轮回TT 25.6秒
6”:49.1秒(第一片),轮回TT 31.6秒
稼动率>95%


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