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激光剥离机

激光剥离机

终产物特色化 1、线形光斑的激光整形手艺，完成在差别尺寸加工样品上的剥离操纵 ；
2、气浮式的任务台完成无打仗无磨擦的加工情势，防止发生粉尘颗粒，保障装备外部的干净度；
3、高精度、大尺寸、双工位的stage设想，可有效进步出产效力 ；
4、panel载台吸附设想。激光装备的物料载台的真空吸附局部，接纳了分区域加时候提早的设想，先吸附中间局部，再逐次往外围吸附，保障带柔性膜的panel能够无皱褶高效吸附。

产物利用

利用规模：柔性显现屏激光剥离。

产物参数

首要参数加工尺寸1"-8"
加工速率180mm/s
加工精度0.1μm
平台参数1）挪动精度
X 轴： 0.1μm
Y 轴： 0.1μm
Z 轴： 1μm
Theta 轴： 0.2°
2）定位精度
X 轴： ≤±4μm
Y 轴： ≤±4μm
Z 轴： ≤±5μm
Theta 轴： 0.1°
激光器参数1）激光器波长： 308nm
2）激光能量： ≥600W
3）激光脉冲功率： 1000mJ
4）总频次： 600 Hz
5）脉冲宽度： 24±4ns
6）脉冲不变性： ≤1%
工艺体例DPSS激光剥离
制程范例激光剥离
Tact time1":4.5s
8":6s
稼动率0.9


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