股要代碼 002008
HB火博体育 激光官网 言语 HB火博体育 激光官网

选择国家/地区

客服热线：
400-666-4000
[→] 随时顾问
开启 [x]
HB火博体育 激光官网
HB火博体育 激光官网
[→] 马上管理咨询
HB火博体育 激光官网
最火关键性词：
脉冲激光器 | 高功率激光切割机 | 光纤激光打标机 | 激光焊接机 | 激光切割机 | 激光打标机 | 紫外激光打标机 | 焊接激光器
您可能在寻找 ..
至于HB火博体育 HB火博体育 激光官网
集团成员 研发创新 发展历程 全球布局 影像HB火博体育 可持续发展
类产品中 HB火博体育 激光官网
激光打标 激光切割 激光焊接 光纤及泵浦源 激光器
运动控制及元器件 专用设备
解决处理计划方案 HB火博体育 激光官网
新能源锂电 光伏太阳能 显示与半导体 PCB行业 电子信息行业
机械五金行业 家电厨卫行业 钣金加工行业 包装行业 交通物流
纺织与饰品行业 汽车制造
关注HB火博体育 ：
HB火博体育 激光官网
HB火博体育 激光官网
HB火博体育 激光官网
HB火博体育 激光官网
客服热线：
400-666-4000
[→] 即时咨询了解。
取消 [x]
HALO系列“二合一”PECVD

HALO系列“二合一”PECVD

产品的优点 1.石墨舟电极技术：前电极面接触，可定期更换清洗电极块，尾电极炉管外可调，加大电极尺寸及优化电极材料，良好解决高频报警问题；
2.快速降温炉体：采用最新专利技术，使炉体温度可以快速降到所需温度，降温速率提升25%以上，明显提升炉管内温度均匀性；
3.专利储舟位并行散热方式：提升降温效果，缩短降温时间15%以上，同时避开底部从操作台前面进气，提高操作台内部洁净度；
4.石英管辅助吊装工具，大大降低安装和维修更换石英管的难度；
5.膜的致密性高于间接等离子体；
6.比ALD有更好的钝化效果。

产品应用

业务水平标准
涂层厚度检测的种类AlO,SiO,SiON,SiN,SiC
装片量768片/批(182mm),616片/批(210mm),500片/批(230mm)
空气氧化铁膜厚竖直性片内≤6%片间≤6%批间≤5%(182片)
氧化物铝光折射率1.65(±0.05)
UP-TIME≥98%
运作温暖范围图100~600℃
环境温度操控9点控温，內外双模把握
变多形式手动斜率不断升温及迅速的恒溫功能性
物理降温方试近期专利局技術，9温辨别段操作会去主动提温炉体
温控区gps精度及长宽±2°C/3200mm(500°C)
单点环境温度固定度<±1°C/4h(500°C)
加热周期RT→450℃≤45min
温度因素掌控双模精度操控
控制系统极限点真空系统度<3Pa
系统的漏气率停泵关阀后的压力升率<1Pa/min
压控住模式更快的修整全智能闭环控制
加工工艺设定措施加工制作工艺 过程中 全自主控制，几斤健康加盟连锁报警器
人与机器信息交互界面显示LCD提示、接触工作、生产技术编辑器、线上风控、访问权限操作、作业队操作、组网的功能
MES/CCRM有着


产品参数

适用于高效晶体硅PERC电池工艺过程中生长致密的氧化铝等背钝化薄膜材料，具有多种复合膜连续生长的特点。

返回上一级，查看更多
[图标] 去联系当我们
服务热线
服务热线:
400-666-4000
在线沟通
在线沟通:
立即咨询
看越多搞好关系、信息反馈方式
[↑]
打样申请/技术支持
[x]
*
*
*
咨询产品
验证码
标有 * 的字段为必填，收到后我们将在2个工作日与您联系
申请打样
[x]
*
*
*
*
*
[→] 下十步
标有 * 的字段为必填
*
缴光粗加工多种类型（多项）
*
产品业务类型（选取）
验证码
标有 * 的字段为必填，收到后我们将在2个工作日与您联系