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HALO系列“二合一”PECVD

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护肤品特殊性 1.石墨舟电极技术：前电极面接触，可定期更换清洗电极块，尾电极炉管外可调，加大电极尺寸及优化电极材料，良好解决高频报警问题；
2.快速降温炉体：采用最新专利技术，使炉体温度可以快速降到所需温度，降温速率提升25%以上，明显提升炉管内温度均匀性；
3.专利储舟位并行散热方式：提升降温效果，缩短降温时间15%以上，同时避开底部从操作台前面进气，提高操作台内部洁净度；
4.石英管辅助吊装工具，大大降低安装和维修更换石英管的难度；
5.膜的致密性高于间接等离子体；
6.比ALD有更好的钝化效果。

产品应用

工程项目技术工艺指标值
溶胶凝胶法品类AlO,SiO,SiON,SiN,SiC
装片量768片/批(182mm),616片/批(210mm),500片/批(230mm)
阳极氧化铝粉膜厚饱满性片内≤6%片间≤6%批间≤5%(182片)
氧化的铝突显出岁月率1.65(±0.05)
UP-TIME≥98%
事情温依据100~600℃
体温把控好9点控温，里外双模操控
降温习惯手动斜率升温快及迅猛恒温器效果
减温方式英文最新头条专属技术性，9温区分开段掌控主动权温度下降炉体
控温区误差及长宽高±2°C/3200mm(500°C)
单点湿度稳定的度<±1°C/4h(500°C)
加温用时RT→450℃≤45min
气温设定双模明确调控
模式上限抽真空度<3Pa
机系统漏气率停泵关阀后压升率<1Pa/min
阻力掌握办法更快的調整全电脑自动前馈
加工工艺把控好行为新工艺时全自主操纵，多大卫生品牌加盟店报案
组队互交画面LCD界面显示、触摸式操作的、工序添加图片、上线监视器、工作管控权限工作管控、班组建设工作管控、组网职能
MES/CCRM具备着


产品参数

适用于高效晶体硅PERC电池工艺过程中生长致密的氧化铝等背钝化薄膜材料，具有多种复合膜连续生长的特点。

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