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紧凑型涂胶显影机 CD06-XS1C1D1A

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食品优点和缺点 1占地小、稳定性高、操作与维护方便；
2. 易于操作，界面友好；
3. 保养维护方便。

产品应用

应用范围：

有机化合物半导体设备、热效率器材、MEMS、rf射频一体化电源线路、LED、科研开发工作、光电元器器材


产品参数

片盒數量2CS
wafer 性质圆片
wafer 尺寸（mm）50-150
产能（WPH）50
衬底材料Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC、LiTaO3、Li3PO4
适用工艺g-line、i- line、PI


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