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激光科技产业集团股份有限公司联合深圳大学/深圳技术大学团队等共同申报的项目《百瓦级紫外皮秒/纳秒激光器关键技术及系列智能制造装备》获批2021年度广东省科技进步奖一等奖。
高功率长寿命紫外激光器及其智能制造装是消费电子产品和半导体产业精密加工的核心利器,其性能直接影响高端电子和芯片产品的品质。随着消费电子产品和芯片尺寸、精度及品质要求的提高,工业紫外激光器功率和寿命及电子领域加工装备关键技术等方面仍面临难题,亟待突破。
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