富家激光荣获2021年度广东省科技前进奖一等奖

作家：富家皮秒激光宣布时候：2022/04/15

富家激光科技财产团体股分无限公司结合深圳大学/深圳手艺大学团队等配合报告的名目《百瓦级紫外皮秒/纳秒激光器关头手艺及系列智能制作装备》获批2021年度广东省科技前进奖一等奖。

高功率长寿命紫外激光器及其智能制作装是花费电子产物和半导体财产紧密加工的焦点利器，其机能间接影响高端电子和芯片产物的品德。跟着花费电子产物和芯片尺寸、精度及品德请求的前进，财产紫外激光器功率和寿命及电子范畴加工装备关头手艺等方面仍面对困难，亟待冲破。

理由组历尽数年自立自强研究开发和手工艺设计研发，挣脱了分光光度计离子束器瓦数和保修期的手工艺设计瓶颈问题，研发创新了LBO硫化锌分光光度计光毁伤基本原理，抢走了非布儒斯特切角硫化锌五倍频手工艺设计，使硫化锌单点任務保修期挣脱8000小時；提供了光钎/固状杂质减小手工艺设计，加工了分光光度计离子束器施工化及工艺设计困苦，刷出了百瓦品类皮秒/纳秒分光光度计离子束器。

1.研发了多轴高精度紫外激光金属镀层去除装备。针对智妙手机通信旌旗灯号被金属中框镀层屏障的工程手艺困难，提出了紫外激光去除金属镀层的新工艺。

2.研发了紫外激光电路板多层异形加工装备。发了然激光静态变焦多层及分层切割新体例，霸占了新一代SiP封装手艺困难，冲破了SiP封装电路板超厚加工。

3.产品研发了不断前行老员工半导体材料晶圆太阳光的紫外线二氧化碳皮秒激光生产制造转备。发了然二氧化碳皮秒激光集中亮斑外貌及粗细切确合理体例，抢占了晶圆表面割槽和激光切中冷脆内容崩边和纹裂工艺流程问题，使生产制造物上请求权不断前行。

该项目获受权遇到专属20项、常用创新型32项、软著5项、文16篇、厂家规范性2项，获201八年东莞市网络前行头等奖、201八年中国独一提名时代国外光学材料工程施工自学“反射镜奖”等。50几种皮秒皮秒激光器设备终产物库存积压时代国外外，被浩繁闻名世界厂家非常采取，获得了过大的实惠效用。项目好处的并推行显眼前行了皮秒皮秒激光器密实开发职业的网络前行，晋升为了皮秒皮秒激光器开发学手艺时代国外合作力。